脱销氮氧化物监测中为什么要规定含氧量和干湿态 为什么有什么作用

以火电厂大气污染物排放标准为例（现行版本非2011年新标准）（脱硝设施一般也是用于大型火电厂的）标准中规定的排放浓度并非是实测污染物浓度需进行折算，其折算系数称为过氧系数折算方法为X*Y/1.4，式中X为实测污染物浓度，Y为实测过氧系数计算方式为21/（21-x）、x为实测烟道中氧含量，标准中规定的过氧系数为1.4（即式中会除以1.4），所以要测量氧含量，氧含量越高折算后污染物的浓度越大，当实测氧含量超过6%时则折算值会大于实测值。

因为标准中计算烟气排放量是以标准干烟气形态（简称标干态）计，是在273k°，1个大气压，绝对湿度为0的条件下的烟气体积，而实测烟气中污染物浓度是湿烟气下的浓度需折算成干烟气下的浓度。

答

高于或等于1050℃炉管通入氧气或水汽自硅晶表面予氧化所谓干氧层或湿氧层干氧层 速率慢于湿氧层 比较致密

1)氧化层速率直维持恒定趋势

2)氧化层穿透先前氧化层堆积于；换言氧化所需氧气或水汽势必要穿透先前氧化层达硅质层故要更厚氧化层遇阻碍更般言少2μm厚氧化层

3)适度加入氯化氢(hcl)氧化层质较佳；容易腐蚀管路已渐少用

(4)同晶面走向晶圆言氧化速率异：相同温度、条件及间{111}厚度≥{110}厚度>{100}厚度

(5)导电性佳硅晶氧化速率较快

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