XPS和EDX有什么区别

EDS是能谱分析，EDX是荧光分析，EDXRF是能量色散型荧光X射线，目前有害物质分析仪和一些镀层厚度分析仪利用此原理。

EDS，（ 电子差速锁）英文全称为ElectronicDifferentialSystem， 它是ABS的一种扩展功能，用于鉴别汽车的轮子是不是失去着地摩擦力，从而对汽车的打滑车轮进行控制。另有an HP company 是全球信息服务业领导者之一，以协助全球客户提高企业的运营绩效。另有EDS (能谱，Energy Dispersive Spectrometer)，EDS电气设计软件包。

EDX:Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy能量色散X射线光谱仪，也可简写为EDS

EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的， 根据波长测定试样所含的元素，根据强度测定元素的相对含量。

常用的EDX探测器是硅渗锂探测器。当特征X射线光子进入硅渗锂探测器后便将硅原子电离，产生若干电子-空穴对，其数量与光子的能量成正比。利用偏压收集这些电子空穴对，经过一系列转换器以后变成电压脉冲供给多脉冲高度分析器，并计数能谱中每个能带的脉冲数。

是X光电子能谱和红外光谱。

XPS=X-ray Photoelectron Spectroscopy X射线光电子能谱分析。FTIR 傅氏转换红外线光谱分析仪用于半导体制造业。FTIR仍利用红外线光谱经傅里叶变换进而分析杂质浓度的光谱分析仪器。

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